水素パッシベーションによるp^+-SiのHF処理特性改善とそのW選択成長への応用
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概要
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- 1995-11-30
著者
-
小杉 敏彦
NTTフォトニクス研究所
-
佐藤 康博
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 仁
NTT通信エネルギー研究所
-
佐藤 康博
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 仁
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
小杉 敏彦
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
-
石井 仁
NTT LSI研究所
-
佐藤 康博
NTT LSI研究所
-
小杉 敏彦
NTT LSI研究所
-
有田 睦信
NTT
-
石井 仁
日本電信電話株式会社:豊橋技術科学大学
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