タングステンをオーミック電極に用いた新たな横方向微細化技術によるInP系HEMTの特性向上
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概要
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- 2006-03-02
著者
-
榎木 孝知
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
小杉 敏彦
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
小杉 敏彦
NTTフォトニクス研究所
-
松崎 秀昭
NTTフォトニクス研究所
-
榎木 孝知
NTTフォトニクス研究所
-
松崎 秀昭
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
高橋 宏行
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
丸山 隆志
Nttアドバンステクノロジ株式会社
-
徳光 雅美
NTTフォトニクス研究所
-
徳光 雅美
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所:(現)nttエレクトロニクス
-
高橋 宏行
NTTフォトニクス研究所
-
松崎 秀昭
NTTフォトニクス研
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