水素パッシベーション法によるW-選択CVD技術と浅接合コンタクト形成への応用
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概要
著者
-
小杉 敏彦
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
石井 仁
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
小杉 敏彦
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
-
石井 仁
NTT LSI研究所
-
小杉 敏彦
NTT LSI研究所
-
有田 睦信
NTT LSI 研究所
-
石井 仁
日本電信電話株式会社:豊橋技術科学大学
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