MEMSデバイスのスティッキング防止のための有機薄膜電着技術 (マテリアルフォーカス:エレクトロニクス 2か月連続特集 10億台「買い替え」市場への可能性 携帯電話の「小型・軽量化と多機能化」に貢献するMEMSのこれから(1)材料・加工編)
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概要
著者
-
石井 仁
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
町田 克之
Nttアドバンストテクノロジ株式会社
-
石井 仁
日本電信電話株式会社:豊橋技術科学大学
-
阪田 知巳
日本電信電話株式会社
-
石井 仁
日本電信電話株式会社
-
町田 克之
東京工業大学,NTTアドバンステクノロジ株式会社
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