小杉 敏彦 | NTT LSI研究所
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概要
関連著者
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小杉 敏彦
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
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石井 仁
NTT LSI研究所
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小杉 敏彦
NTT LSI研究所
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石井 仁
日本電信電話株式会社:豊橋技術科学大学
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石井 仁
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
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小杉 敏彦
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
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佐藤 康博
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
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佐藤 康博
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
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佐藤 康博
NTT LSI研究所
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土屋 敏章
NTT LSI研究所
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有田 睦信
NTT LSI 研究所
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小杉 敏彦
NTTフォトニクス研究所
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石井 仁
NTT通信エネルギー研究所
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大野 晃計
NTT LSI研究所
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大野 晃計
NTTシステムエレクトロニクス研究所
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有田 睦信
NTT
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大野 晃計
Ntt Lsi研
著作論文
- 極薄膜MOSFET/SIMOXのソース・ドレイン上に形成したW層の寄生バイポーラ効果への影響
- ソース/ドレイン上に選択W層を形成した1/4ミクロン級極薄膜MOSFET/SIMOXの特性
- 水素パッシベーションによるp^+-SiのHF処理特性改善とそのW選択成長への応用
- 水素パッシベーション法によるW-選択CVD技術と浅接合コンタクト形成への応用
- 水素パッシベーションを用いたp+Si高濃度表面清浄化技術とそのコンタクト形成への応用