KC-2-5 光MEMSの通信への応用
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 電子情報通信学会の論文
- 2002-03-07
著者
関連論文
- マイクロ光実装技術による超小型血流センサの開発
- 光MEMSの動向
- ポリイミド導波路付半導体レーザ
- ポリイミド導波路付半導体レーザ
- 一体型プリズム走査干渉計を用いた携帯フーリエ変換分光器
- 小型フーリエ変換分光器のためのプリズム干渉計
- LSIテスト用ICプローブ
- 光トラップしたマイクロ光部品の角度アライメントと光駆動
- 光の角運動量によるマイクロ光部品の角度アライメント
- 集積型マイクロ変位センサを用いたレーザドップラ速度計測
- 圧電素子変位の拡大機構と集積型変位センサを組み込んだ3次元ステージの作製
- 複屈折率物体に働く光放射圧を利用したマイクロ物体の角度アライメント
- フッ素化ポリイミドとSPPを用いた高アスペクト比加工
- LDと一体化した放物型全反射面を有する光導波路の光学特性
- SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
- KC-2-5 光MEMSの通信への応用
- Optical MEMS '2000(マイクロマシンの光技術への応用)
- 光集積マイクロエンコーダ
- MOEMS'99(マイクロマシンの光技術への応用)国際会議報告
- 光学式集積型変位センサ
- マイクロ光実装技術(光回路実装技術)
- マイクロ光実装技術 : 高分解能エンコーダ、マイクロ血流センサー
- 高次の回折光を利用した超高精度マイクロエンコーダ