澤田 廉士 | Ntt マイクロシステムインテグレーション研究所

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概要

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関連著者

• 澤田 廉士

  Ntt マイクロシステムインテグレーション研究所

• 澤田 廉士

  Ntt 通信エネルギー研

• 伊藤 高廣

  NTT通信エネルギー研究所

• 伊藤 高廣

  NTT光エレ研

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  Ntt通信エネルギー研究所

• 日暮 栄治

  Ntt光エレクトロニクス研究所

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  Ntt 光エレクトロニクス研

• 清倉 孝規

  NTT基礎研

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  NTTマイクロシステムインテグレーション研究所

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• 清倉 孝規

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• 松井 伸介

  NTT境界領域研究所

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• 松井 伸介

  Ntt

• 澤田 廉士

  日本電信電話(株)通信エネルギー研究所

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著作論文

• 集積型マイクロ変位センサを用いたレーザドップラ速度計測
• 圧電素子変位の拡大機構と集積型変位センサを組み込んだ3次元ステージの作製
• フッ素化ポリイミドとSPPを用いた高アスペクト比加工
• SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
• 光 MEMS と今後の動向
• 光通信への応用

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