光 MEMS と今後の動向

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• The sequence of optical MEMS development is described, wherein research reached its climax in 2000, during the tumultuous crescendo of the telecommunication industry boom in USA and slowed down thereafter. However, recently in Japan, there are indications that efforts to fabricate stable high-performed devices are on-going, although not on a large-scale. The problems to be solved to facilitate the research of optical MEMS are also mentioned.

• 社団法人 電気学会の論文
• 2003-10-01

著者

• 澤田 廉士

  Ntt マイクロシステムインテグレーション研究所

関連論文

• 集積型マイクロ変位センサを用いたレーザドップラ速度計測
• 圧電素子変位の拡大機構と集積型変位センサを組み込んだ3次元ステージの作製
• フッ素化ポリイミドとSPPを用いた高アスペクト比加工
• SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
• 光 MEMS と今後の動向
• 光通信への応用

スポンサーリンク