粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(第4報)ポリシャ特性への表面状態の影響
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概要
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- 1999-09-01
著者
-
松井 伸介
NTT境界領域研究所
-
松井 伸介
NTT通工研
-
石川 良征
NTT通工研
-
餅田 正秋
防衛大
-
石川 良征
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
松井 伸介
Ntt フォトニクス研
-
宇根 篤暢
防衛大学校
-
宇根 篤暢
防衛大
-
餅田 正秋
防衛大学校
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