石川 良征 | NTT通工研

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概要

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関連著者

• 松井 伸介

  NTT境界領域研究所

• 松井 伸介

  NTT通工研

• 石川 良征

  NTT通工研

• 餅田 正秋

  防衛大

• 石川 良征

  日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所

• 松井 伸介

  Ntt フォトニクス研

• 宇根 篤暢

  防衛大学校

• 宇根 篤暢

  防衛大

• 餅田 正秋

  防衛大学校

• 大平 文和

  日本電信電話(株)通信エネルギー研究所

• 大平 文和

  Ntt境界領域研究所

• 松井 伸介

  日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所

• 宇根 篤暢

  防衛大学校 機械工学科

• 餅田 正秋

  防衛大学校 機械工学科

• 大平 文和

  NTT通工研

• 鴨打 輝正

  NTTアドバンテストテクノロジ

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著作論文

• 真空ピンチャックによる平面矯正(第6報)-ピン支持研磨によるディンプル発生のメカニズム-
• 粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(第4報)ポリシャ特性への表面状態の影響

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