無変形真空チャックの開発
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1994-12-05
著者
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小俣 冨士夫
日本電信電話(株)LSI研究所
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清水 彰
日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
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清水 彰
NTTシステムエレクトロニクス研究所
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柴山 昭則
日本電信電話(株)lsi研究所
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宇根 篤暢
NTTアドバンステクノロジ(株)
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小俣 冨士夫
日本電信電話(株)境界領域研究所
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