油圧シリンダ駆動による精密移動機構

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
電子ビーム露光装置用試料移動機構の高速化、高精度化、高信頼化を図るため、静圧軸受を直動案内とし、油圧シリンダで駆動する精密移動機構を試作した。試作装置について、電子ビーム露光装置用として必要な基本特性を求め、位置決め時間と精度に関して動特性の解析と実験検討から追求し、次のことが明らかとなった。(1)安定で、かつ高速な位置決め制御を行う条件を理論検討によって明確にし、結果の妥当性を実験により確認した。(2)ステップ送りにおける位置決め時間は、位置偏差±2μmの場合、2mmステップで0.2s、5mmステップで0.35sを達成し、本制御系が高速位置決めに有効であることがわかった。(3)油圧シリンダ駆動により、移動テーブル整定後サブミクロンオーダの位置決め精度を確保できた。(4)移動テーブルの静剛性は50kg/μm、直進性は移動範囲100mmに対して垂直変位0.7μm、ヨーイング2秒であり、いずれも要求条件に適合している。
公益社団法人精密工学会の論文
1980-06-05

著者

関連論文

スポンサーリンク