杉浦 秀樹 | 防衛大学校

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著作論文

• 研磨による大口径ウエハの形状修正(第3報) : スラリー量の影響
• 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第2報) : 研削による軸対称形状創成と揺動速度制御研磨による形状修正
• 408 小形工具を用いた揺動研磨
• 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第6報):研削形状に影響を与える要因
• 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第5報) : 連続研削における加工形状劣化の検討

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