宇根 篤暢 | 防衛大学校システム工学群機械工学科

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概要

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関連著者

• 宇根 篤暢

  防衛大学校 機械工学科

• 宇根 篤暢

  防衛大学校システム工学群機械工学科

• 宇根 篤暢

  防衛大学校

• 林 豊

  (株)ニコンcmp事業室開発部

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 星野 進

  (株)ニコンcmp事業室

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

• 山本 栄一

  (株)ニコンCMP事業室プロセス技術課

著作論文

• 次世代CMP装置の開発 : 超低圧研磨,ローカル研磨技術の開発(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
• 超精密ラッピング・ポリシング

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