林 豊 | (株)ニコンcmp事業室開発部

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関連著者

• 林 豊

  (株)ニコンcmp事業室開発部

• 牧野内 進

  (株)ニコン

• 牧野内 進

  ニコン

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 星野 進

  (株)ニコンcmp事業室

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

• 神谷 三郎

  (株)ニコン

• 宇根 篤暢

  防衛大学校 機械工学科

• 山本 栄一

  (株)ニコンCMP事業室プロセス技術課

• 岡田 正思

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• 宇根 篤暢

  防衛大学校システム工学群機械工学科

• 宇根 篤暢

  防衛大学校

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著作論文

• ステッパの新露光方式と位置決め技術の改新(超精密位置決めのための最新技術)
• 次世代CMP装置の開発 : 超低圧研磨,ローカル研磨技術の開発(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
• 半導体露光装置におけるボールねじとリニアモータの特徴
• 半導体露光装置における案内技術(最近の軸受・案内技術)

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