インプロセス計測加工精度補償の研究(第5報) : 工具-変位計オフセット量の残留形状誤差への影響と補正制御できない特異点の除去対策
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概要
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- 社団法人精密工学会の論文
- 1995-07-05
著者
-
矢澤 孝哲
新潟大学
-
河野 嗣男
東京都立科学技術大学
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矢澤 孝哲
東京都立科学技術大学
-
宇田 豊
(株)ニコン
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宇田 豊
東京都立科学技術大学
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河野 嗣男
東京都立科学技術大学 機械システム工学科
-
宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
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