インプロセス計測加工精度補償の研究(第4報) : 第一参照面誤差収束と外乱除去に対する補正制御係数mの特性
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概要
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- 社団法人精密工学会の論文
- 1994-08-05
著者
-
矢澤 孝哲
新潟大学
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河野 嗣男
東京都立科学技術大学
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矢澤 孝哲
東京都立科学技術大学
-
宇田 豊
(株)ニコン
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宇田 豊
東京都立科学技術大学
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河野 嗣男
東京都立科学技術大学 機械システム工学科
-
宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
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