矢澤 孝哲 | 東京都立科学技術大学
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概要
関連著者
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矢澤 孝哲
新潟大学
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河野 嗣男
東京都立科学技術大学
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矢澤 孝哲
東京都立科学技術大学
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河野 嗣男
東京都立科学技術大学 機械システム工学科
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宇田 豊
(株)ニコン
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宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
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細越 剛史
東京都立科学技術大学:(現)富士通(株)
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細越 剛史
東京都立科学技術大学
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河野 慎一
富士写真光機(株)
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大野 直弘
コニカ(株)
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松本 大司
東京都立科学技術大学:(現)(株)ニコン
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松本 大司
東京都立科学技術大学
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齋藤 大悟
東京都立科学技術大学
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河野 慎一
東京都立科学技術大学
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大野 直弘
東京都立科学技術大学
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山崎 俊文
東京都立科学技術大学
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菅野 知明
東京都立科学技術大学
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宇田 豊
東京都立科学技術大学
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山崎 俊文
東京都立科学技術大学:(現)日立電線(株)
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神谷 欽章
東京都立科学技術大学
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細越 剛史
富士通
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松本 大司
(株)ニコン
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鈴木 尚
(株)古河電工
著作論文
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- ハーフラインハルトマンテストによるインプロセス形状計測加工制御II -半径断面から全面形状へ-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第6報) : 正面切削における制御開始位置と変位計配置位置の影響
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第7報) : 非制御中心部の制御加工と全体面への展開
- ラジアルシェア干渉計を用いたカセグレン鏡の測定
- ハーフラインハルトマンテストによるインプロセス形状計測加工制御
- ハーフラインハルトマンテストによる鏡面形状オンマシン測定
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -基準面参照制御加工法による加工面基準法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-
- オンマシン計測用干渉計の誤差要因解析と補正
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -D-MTSによる平面全体への加工制御-
- 中心部分を参照面とした凹面鏡干渉形状測定-ラジアルシェア干渉計による形状測定-
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御(第7報) -WORFACの球面加工への適応-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第5報) : 工具-変位計オフセット量の残留形状誤差への影響と補正制御できない特異点の除去対策
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第4報) : 第一参照面誤差収束と外乱除去に対する補正制御係数mの特性
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- ファイバーグレーティングハルトマンテストによる鏡面形状計測 : 鏡面切削中におけるインプロセス計測