細越 剛史 | 東京都立科学技術大学

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概要

• 同名の論文著者
• 東京都立科学技術大学の論文著者

関連著者

• 矢澤 孝哲

  新潟大学

• 河野 嗣男

  東京都立科学技術大学

• 細越 剛史

  東京都立科学技術大学

• 矢澤 孝哲

  東京都立科学技術大学

• 松本 大司

  東京都立科学技術大学:(現)(株)ニコン

• 河野 嗣男

  東京都立科学技術大学 機械システム工学科

• 細越 剛史

  東京都立科学技術大学:(現)富士通(株)

• 松本 大司

  東京都立科学技術大学

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

• 松本 大司

  (株)ニコン

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著作論文

• ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
• オンマシン計測用干渉計の誤差要因解析と補正
• 中心部分を参照面とした凹面鏡干渉形状測定-ラジアルシェア干渉計による形状測定-
• ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定

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