菅野 知明 | 東京都立科学技術大学

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概要

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• 同名の論文著者
• 東京都立科学技術大学の論文著者

関連著者

• 矢澤 孝哲

  新潟大学

• 河野 嗣男

  東京都立科学技術大学

• 矢澤 孝哲

  東京都立科学技術大学

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 大野 直弘

  コニカ(株)

• 菅野 知明

  東京都立科学技術大学

• 大野 直弘

  東京都立科学技術大学

• 河野 嗣男

  東京都立科学技術大学 機械システム工学科

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

• 山崎 俊文

  東京都立科学技術大学

• 山崎 俊文

  東京都立科学技術大学:(現)日立電線(株)

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著作論文

• 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -基準面参照制御加工法による加工面基準法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-
• 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -D-MTSによる平面全体への加工制御-

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