山崎 俊文 | 東京都立科学技術大学:(現)日立電線(株)

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概要

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関連著者

• 矢澤 孝哲

  新潟大学

• 河野 嗣男

  東京都立科学技術大学

• 矢澤 孝哲

  東京都立科学技術大学

• 山崎 俊文

  東京都立科学技術大学

• 河野 嗣男

  東京都立科学技術大学 機械システム工学科

• 山崎 俊文

  東京都立科学技術大学:(現)日立電線(株)

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 大野 直弘

  コニカ(株)

• 菅野 知明

  東京都立科学技術大学

• 大野 直弘

  東京都立科学技術大学

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

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著作論文

• インプロセス計測加工精度補償の研究(第7報) : 非制御中心部の制御加工と全体面への展開
• 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -基準面参照制御加工法による加工面基準法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-

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