キューブコーナプリズムとレーザ干渉計による回転精度測定法(第1報) : 原理と基礎的実験
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A new measuring method is proposed for evaluating error motion of spindle rotation, where three laser beams entered through interferometers to a cube-corner prism (CCP) mounted on the spindle-end. The method was verified on an optical bench, and was applied to in-process measuring experiments for the spindle of the surface grinding machine. The noise level of the measuring system was found to be approximately 0.07μm. And dynamic behavior of rotating spindle was measured accurately during surface grinding operations.
- 1990-02-05
著者
-
三井 公之
慶應義塾大学
-
河野 嗣男
東京都立科学技術大学
-
岡崎 祐一
機械技術研究所
-
小澤 則光
機械技術研究所
-
三井 公之
機械技術研究所
-
小沢 則光
機械技術研究所
-
岡崎 祐一
(独)産業技術総合研究所
-
岡崎 祐一
機械技研
-
北村 豊
(株)岡本工作機械製作所
-
三井 公之
慶應義塾大学理工学部機械工学科
-
小沢 則光
機械技研
-
岡崎 祐一
産業技術総合研
関連論文
- ロータリエンコーダを用いたNC工作機械の空間的運動精度測定装置の開発 : 装置の改良および誤差補正について(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- マイクロ生産機械システム専門委員会 : 実用化が進むマイクロ工作機械(5.3 専門委員会・分科会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- アルミニウム合金製マイクロ旋盤の開発
- 空間周波数フィルタリングによる粗面形状測定
- インプロセス計測用ゾーンプレート干渉計における遮蔽部分の補償
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- ハーフラインハルトマンテストによるインプロセス形状計測加工制御II -半径断面から全面形状へ-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第6報) : 正面切削における制御開始位置と変位計配置位置の影響
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第7報) : 非制御中心部の制御加工と全体面への展開
- ラジアルシェア干渉計を用いたカセグレン鏡の測定
- ハーフラインハルトマンテストによるインプロセス形状計測加工制御
- ハーフラインハルトマンテストによる鏡面形状オンマシン測定
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -基準面参照制御加工法による加工面基準法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-
- オンマシン計測用干渉計の誤差要因解析と補正
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -D-MTSによる平面全体への加工制御-
- 中心部分を参照面とした凹面鏡干渉形状測定-ラジアルシェア干渉計による形状測定-
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御(第7報) -WORFACの球面加工への適応-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第5報) : 工具-変位計オフセット量の残留形状誤差への影響と補正制御できない特異点の除去対策
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第4報) : 第一参照面誤差収束と外乱除去に対する補正制御係数mの特性
- 複合サーボ機構を用いた精密運動制御 : 動的補償による複合サーボ系の特性
- Vブロック法を用いた円筒コロの簡易円筒度測定(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- Vブロック法を用いた円筒コロの断面形状測定 : 円筒コロ1200本の測定とその評価
- Vブロック法を用いた円筒コロ断面形状測定装置の開発
- Vブロック法による円筒コロの断面形状測定(第2報)
- Vブロックほうによる円筒コロの断面形状測定
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- SFU搭載用宇宙赤外望遠鏡(IRTS)の低温ハルトマンテスト
- 三点法の解析アルゴリズムの一手法
- プローブを用いた微細部品の形状・寸法測定技術(メソスケール三次元形状測定技術)
- 金属薄板のプレス穴あけ加工における加工精度 : 工具位置不良が及ぼす影響とその検知法について
- アクチュエータ内蔵式マイクロスライダの運動特性
- 静圧案内を用いた超精密平面研削盤の開発
- レーザ干渉測長機を用いたNC工作機械の円運動測定装置の開発 : 測定原理,装置の構成ならびに2,3の実験結果(機械要素,滑潤,工作,生産管理など)
- レーザ干渉計を用いたNC工作機械の円運動測定法の開発
- リンク機構によるNC工作機械の円運動の測定方法 : 測定原理および実験結果
- 完成近い巨大天体望遠鏡「すばる」(創立100周年記念 巨大な技術)
- ファイバーグレーティングハルトマンテストによる鏡面形状計測 : 鏡面切削中におけるインプロセス計測
- 知的精密計測
- 光による形状計測
- 加工と計測の一体化が生む高精度と合理化(インプロセス計測加工制御技術専門委員会)(専門委員会研究レビュー)
- ラインハルトマンテストによる鏡面形状オンマシン測定
- ソフトウエアデータムによる円盤面形状測定に関する研究(第2報) : 反転法による円盤上円周形状と軸の回転誤差の分離
- ソフトウエアデータムによる円盤面形状測定に関する研究(第1報):3点法による円盤上円周形状と軸の回転誤差の分離
- ころがり案内・駆動機構の非線形応答特性
- 粗・微動複合サーボ機構の研究 (第2報) -粗動機構の特性解析と複合サーボ機構の動作解析-
- 機械工学年鑑(1988年) ファクトリーオートメーション(FA)
- アクチュエータ内蔵式マイクロスライダの速度制御
- 微細形彫放電加工によるマイクロ部品形状測定用深針の製作 : X型及びX-Z型深針の製作
- 微細型彫り放電加工によるマイクロ形状測定装置用探針の製作
- 高感度非接触粗さ計の開発
- デュアルサーボ式表面粗さ測定装置の開発 -デュアルサーボ制御系の最適化-
- 粗微動連動制御機構による表面粗さ測定に関する研究 : 装置の構成と2,3の測定結果
- マイクロ部品の形状・寸法測定に関する研究 : 装置の改良ならびにプローブの校正と寸法測定結果(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- マイクロ部品用形状・寸法測定装置の開発 : 第3報 水晶振動子を用いた微細プローブの開発
- マイクロ部品の形状・寸法測定 : 第3報 形状/寸法測定結果
- マイクロ部品の形状・寸法測定 : 第2報 放電加工による測定用探針の製作
- マイクロ部品の形状・寸法測定 : 第1報 装置の構成と測定原理
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第2報) : K-HIPOSSと平行板ばね式微小切込み工具台の応用
- 321 ロータリーエンコーダを用いたNC工作機械の運動精度測定装置(RELM) : 誤差補正と測定結果(OS-10 加工計測・評価)
- 非点収差方式による超音波変位計測法に関する研究 : 測定原理とその検証
- シングルポイントダイヤモンド旋削による光学ガラスの延性モード切削加工に関する研究
- 光學ガラスの延性モード切削加工に関する研究(第3報)-加工モードのインプロセス識別-
- 光学ガラスの延性モード切削加工に関する研究 第2報 -各種加工条件下における加工モード推移の観察
- 光学ガラスの延性モード切削加工に関する研究(第1報)実験装置と加工形態の観察
- 回折格子を用いた光ヘテロダイン干渉法による真直度測定の研究
- デュアルサーボ式STMの開発
- 304 画像処理によるマイクロパンチプレスにおけるパンチとダイ間のクリアランス計測([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
- 多点法による工作機械回転主軸のアキシャルおよびアンギュラモーションエラーの精密測定に関する研究
- 切削加工による脆性材料の形状創成に関する研究
- 回折格子を用いた光ヘテロダイン干渉による真直度測定法の研究
- マイクロファクトリ技術に関する調査研究
- 実用化が進むマイクロ工作機械(加工機械のマイクロ化分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- 加工機械のマイクロ化分科会 : 生産機械の合理的なサイズを考える(専門委員会・分科会研究レビュー)
- 画像処理によるきさげ加工面の認識
- キューブコーナプリズムとレーザ干渉計による回転精度測定法(第1報) : 原理と基礎的実験
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第3報) : 汎用旋盤を用いた円筒切削の制御
- 3点法におけるパラメータ算出法および変位計の設置角度の推定に関する新手法
- 真円度および回転精度の多点法測定における擬似逆行列を用いた計算処理の最適化に関する考察
- 322 3点法における重み付け係数の一計算手法(OS-10 加工計測・評価)
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第1報) : 加工面基準制御加工法の原理と基礎実験
- 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1) : 超精密測定技術の研究
- 表面欠陥検査の展望(表面欠陥検査の現状と問題点)
- 光による軸の回転精度測定法の研究 : 測定原理ならびに測定感度に関する考察
- NC工作機械の精度評価技術 (特集 生産加工を支える新技術--これからのものづくり)
- マイクロ部品用形状測定装置の開発 : 装置の構成ならびに測定結果
- 連載「長さ測定技術はどこまできたか」VIII マイクロマシンにおける計測技術
- 画像処理による長焦点深度光学顕微鏡画像の合成 : 長焦点深度画像の合成と三次元表示
- 4221 小型超高速スピンドルの誤差運動測定(J24-2 生産機械のマイクロ化(2))
- 323 小型超高速スピンドルの光学式回転精度測定(OS-10 加工計測・評価)
- マイクロスピンドル用光学式回転精度測定装置の開発 : 測定基準として球を用いる場合の光学系の基本特性に関する考察
- 311 マイクロスピンドル用光学式回転精度測定装置の開発 : 3点法の導入(OS10 加工計測・評価)
- ロータリエンコーダを用いたNC工作機械の空間的運動精度測定装置の開発 : 測定原理,装置の構成および実験結果(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- レーザ干渉測長機とロータリーエンコーダを用いた円運動測定装置の開発
- 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 16.8.加工計測(16.加工学・加工機器)(機械工学年鑑)
- マイクロ部品用形状測定装置の開発 : 装置の構成ならびに測定結果
- 吸湿による精密石定盤の形状精度変化の研究
- 新しい表面粗さ測定技術
- 計測・評価の軌跡 : ミクロンからナノへ、接触から非接触へ(精密工学の進展 : 1900年代を締めくくるに際して)
- マイクロ部品の形状・寸法測定(マイクロ機構の測定・評価技術)