ローリングの超精密計測と制御に関する研究
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概要
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The present paper describes a new system to measure and control rolling of a precision stage. In this system, the rolling of the stage is monitred by a new measuring method, and is controlled to be zero by a feedback control system. The new method utilizes two angle probes to scan the rolling angle profile of the surface of a target mirror mounted on the stage. The principle of the method is based on the absolute straightness measurement by two angle probes and the technique to evaluate and correct the zero adjustment error between two probes. The output data of the two angle sensors consist of the rolling of stage and the rolling angle profile of target mirror. The rolling of stage and the rolling angle profile can then be separated from each other by using the angle sensor output data. Experimental results showed that the rolling can be measured and controlled to 0.05s(arc) that is determined by the stability of the rolling measurement system.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1999-01-05
著者
-
高 偉
東北大学大学院工学研究科
-
清野 慧
東北大学大学院工学研究科
-
宇田 豊
(株)ニコン
-
宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
-
小山 直
東北大学大学院
-
張 世宙
東北大学大学院工学研究科
-
馬 軍山
東北大学大学院特別研究生
-
張 世宙
東北大
-
高 偉
東北大学大学院
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