張 世宙 | 東北大学大学院工学研究科

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概要

• 同名の論文著者
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関連著者

• 張 世宙

  東北大学大学院工学研究科

• 張 世宙

  東北大

• 清野 慧

  東北大学大学院工学研究科

• 張 世宙

  東北大学

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 清野 慧

  東北大学工学部

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

• 水戸 正美

  東北大

• 馬 軍山

  東北大学大学院特別研究生

• 水戸 正美

  東北大学

• 高 偉

  東北大学大学院工学研究科

• 小山 直

  東北大学大学院

• 宇田 豊

  ニコン株式会社

• 水戸 正美

  東北大学工学部

• 高 偉

  東北大学大学院

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著作論文

• ローリングの超精密計測と制御に関する研究
• ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正
• ポリゴン鏡面の角度形状誤差測定システムの開発
• 静電容量型傾斜角度センサの開発-センサの構造とそのインタフェース回路-
• 角度センサの平均感度の迅速校正法に関する研究
• 回転速度の計測における半導体レーザの自己混合干渉の解析
• ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第3報) -測定範囲の小さい角度センサの平均感度の校正法-
• ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第2報) 角度変位シフト量のドリフトによる校正誤差の修正法-
• 超精密角度センサの開発 : 光源部の温度ドリフトの補正
• 角度センサの高精度自立的校正法の研究

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