田野 誠 | 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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概要
関連著者
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高 偉
東北大学工学研究科
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田野 誠
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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田野 誠
東北大学大学院
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清野 慧
京都大学
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清野 慧
精密測定研
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科
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清野 慧
東北大学工学部
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荒木 武
(株)日立ディスプレイズ
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田野 誠
東北大院
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冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
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高 偉
東北大工
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清野 慧
東北大工
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高 偉
東北大
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清水 浩貴
九州工業大学工学部
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田野 誠
東北大字大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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佐々木 卓也
住友重機械工業株式会社
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清水 浩貴
東北大工
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佐藤 真路
東北大
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水戸 正美
東北大
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清野 慧
東北大
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冨田 良幸
住友重機械
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佐々木 卓也
住友重機械工業 平塚研
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高 偉
東北大学大学院
著作論文
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価