木村 彰秀 | 東北大
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概要
関連著者
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木村 彰秀
東北大
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高 偉
東北大
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木村 彰秀
東北大学大学院
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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高 偉
東北大学大学院
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荒井 義和
東北大学大学院工学研究科
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鶴見 直也
東北大学大学院
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渡辺 陽司
東北大学大学院
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科
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高 偉
東北大学工学研究科
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荒井 義和
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清野 慧
京都大学
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高 偉
東北大学
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精密測定研
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細野 幸治
東北大
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荒井 義和
東北大学大学院
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木村 彰秀
東北大学
著作論文
- 回折光干渉型XYZ3軸変位センサに関する研究
- 超精密位置決めのための変位センサ (特集 機械設計者のための 精密位置決め機構設計--最新事例で学ぶ高精度化,高速化,低コスト化の実現)
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 多軸サーフェスエンコーダの基礎
- 189 モザイクXY格子用光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究 : マルチプローブ型光学系の提案と原理確認実験(生産加工・工作機械II,一般講演)