荒井 義和 | 東北大学 大学院工学研究科
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概要
関連著者
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荒井 義和
東北大
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東北大学大学院 工学研究科
著作論文
- S1303-2-4 非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 精密3次元マイクロ形状の知的計測
- マイクロ非球面の精密ナノ計測