内挿誤差の自律校正による干渉計の高精度化

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1996-02-05

著者

• 西野 洋一

  :(現)旭硝子(株)

• 清野 慧

  東北大学工学部

• 葛 宗涛

  東北大学大学院

• 西野 洋一

  (現)旭硝子(株)

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