粗さ測定のための走査型トンネル顕微鏡(STM)に関する研究 : スキッド式STMについて
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A new type of STM instrument, named skid-type STM is proposed and a test instrument has been constructed. In the test instrument, two skid-styluses and a measuring stylus are set in a line so that the measuring one is equi-distant from both skids, and the specimen is moved by a 2-dimensional inch-worm mechanism. It is shown that the z-directional errors due to thermal drift and the scanning motion of the inch worm stage can be reduced to 1/10 in the skid-type STM. Although the influence of environmental vibration has not been sufficiently reduced yet and smoothing effect by the trial skid-stylus is not quite enough for specimens like gratings, a possibility of making an STM with a very large scanning area is shown.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-09-05
著者
関連論文
- 投射電子線磁界トモグラフィ装置の開発(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
- 電子線トモグラフィーによる記録ヘッド磁界の時間応答測定
- 光造形法を応用したセラミック微小構造体の製法(第1報) : 製法の提案と光造形実験
- 変位計の線形誤差の自律的校正
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第4報, 整形歯車について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第3報, 歯形修整歯車の効果について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する所究 : 第2報, 最適歯形修整量について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第4報, 整形歯車について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第3報, 歯形修整歯車の効果について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第2報, 最適歯形修整量について
- 差動レーザオートコリメーションに関する研究(第1報) : 光電式オートコリメーターによるピッチングの補正効果
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- 差動レーザオートコリメーションに関する研究(第2報) : 2本のレーザビームによる差動測定プローブ
- 簡易ステッピングモータの試作研究 : 第1報,揺動形ステッピングモータの原理
- 振動する棒に沿って上昇する振子
- 高感度2軸マイクロ角度センサの開発
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
- 「投射電子線磁界トモグラフィ装置の開発」にまつわる話(こぼれ話と苦労話)(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
- 電子ビームとCT手法による高周波磁場測定
- 粗さ測定のための走査型トンネル顕微鏡(STM)に関する研究 : スキッド式STMについて
- マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究
- 多自由度の位置と姿勢の精密検出法の研究 : 走査型角度センサによる角度格子読取り
- 角変位検出型 AFM の研究
- はずば歯車の振動に関する研究 : 第2報,実験結果の検討
- はすば歯車の振動に関する研究 : 第1報,理論解析
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する所究 : 第1報, かみあい率と歯車振動の関係
- 対物レンズ振動式光触針に関する研究
- 光触針におけるスポットの平滑特性について
- 簡易ステッピングモータの試作研究 : 第2報,レールへの接触機構の改善
- 内挿誤差の自律校正による干渉計の高精度化
- 歯車に起因する機会振動の解析法 : 第2報,解析法の性格と精度
- 歯車に起因する機械振動の解析法 : 第1報,歯車振動の性格と総合起振力
- 誤差をもつ円筒歯車の荷重伝達特性に関する研究 : 第4報,歯形誤差による歯車振動起振力
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第1報, かみあい率と歯車振動の関係
- はすば歯車の振動・騒音に関する研究
- かさ歯車の振動に関する研究 : 第1報,円筒歯車との違い
- 干渉計による平面形状の絶対測定法の理論的研究
- 臨界角法のワイドレンジにおける平滑効果の考察
- 光触針におけるオーバシュート現象の考察
- 櫻井武麿先生を偲ぶ
- SPMにおける形状歪の高精度補正の研究
- ミリスケールSTMの開発
- 粗紡機用線接触プラスチックねじ歯車に関する研究 : 接触線の解析ならびに騒音・効率・摩耗の測定
- プラスチックねじ歯車の歯形摩耗とその影響に関する研究 : 第2報, 微小摩耗の進行過程における創成歯形の三次元表示
- プラスチックねじ歯車の歯形摩耗とその影響に関する研究 / 第1報, インボリュートねじ歯車により創成される歯形の理論
- 精密移動体のローリング計測・制御
- 自律的形状創成法のためのインプロセス測定プローブの開発
- ポリゴン鏡面の角度形状と割出し角度の走査ビーム径による変化
- ポリゴン鏡面の角度形状誤差測定システムの開発
- 干渉顕微鏡の高さ方向誤差のその場自律校正法
- 自律的位置検出に関する基礎的研究
- ソフトウェアデータムによる形状の絶対測定
- 歯車形状の非接触迅速測定法に関する研究(第1報) : 光触針式ピッチ誤差測定器の試作
- 歯車形状の非接触迅速測定法
- 平面のうねり形状の測定に関する研究(第1報) : 液面基準型角度検出器の試作
- 歯車の振動騒音に関する基礎的研究 : 第5報,円周方向振動の特徴
- 歯車の振動, 騒音に関する基礎的研究 : 第5報, 円周方向振動の特徴
- 自律校正法にもとづくPSDの線形誤差の評価
- スペクトルを重視した平歯車の定常振動の近似解法
- 歯車の振動のモード解析 : 第1報,1対の平歯車の動荷重の評価
- 光造形法を応用したセラッミク/金属微小構造体の製法(第3報) -粉末含有率の向上と脱脂焼結実験-
- 光造形法による異なる材料特性部を有する微細機能構造体の製法
- ソフトウェアデータムによる段差形状の測定
- 粗さ測定のための光スキッド法(第2報) : 2光源1受光系によるスキッド付き光触針
- 粗さ測定のための光スキッド法(第1報) : 原理と試作機の基本性能
- 超精密角度センサの開発 : 光源部の温度ドリフトの補正
- 角度センサの高精度自立的校正法の研究
- 合成法による形状測定に関する研究 : 基準領域選択の最適化と自動化
- 歯車形状の非接触迅速測定法に関する研究(第4報) : 光触針式2点法歯車歯形測定システムの試作
- 2次元ソフトウェアデータムによる超精密鏡面形状の絶対測定
- 鏡面形状のオン・マシン測定に関する研究 : 測定原理及びセンサの基本性能
- 追従式光触針法に関する研究 : ゼロ位法の効果
- インプロセス形状測定機能を有するマイクロ加工プローブの設計
- 2次元変位センサの自律校正法に関する研究
- 単一のPSDの自律校正法に関する研究
- 複数の測定子を用いた真直度測定法において測定子の空間周波数特性の違いが測定結果に及ぼす影響
- ソフトウェアデータムによる真円度測定に関する研究(第2報) : 光学式センサと真円度測定結果
- ソフトウェアデータムによる真円度測定に関する研究 : 混合法と3点法のシミュレーションによる比較
- 複数の測定子を用いた真直度測定法における測定子較正誤差の不ぞろいの影響