小梁川 靖 | 住友重機械工業 (株) メカトロニクス事業部
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概要
関連著者
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小梁川 靖
住友重機械工業 総合技術研究所
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冨田 良幸
住友重機械
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小梁川 靖
住友重機械工業 (株) メカトロニクス事業部
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冨田 良幸
住友重機械工業 技開セ
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冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
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佐藤 文昭
住友重機械工業(株)量子機器事業部
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伊藤 一博
住友重機械工業(株)量子機器事業部
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堀内 雅彦
住友重機械工業(株)
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小島 英嗣
住友重機械工業(株)総合技術研究所
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杉峰 正信
住友重機械工業(株)田無製造所
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小平 一穂
住友重機械工業(株)システム研究所
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川地 俊一
住友重機械工業 (株) メカトロニクス事業部
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大塚 征司
住友重機械工業 (株) メカトロニクス事業部
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冨田 良幸
住友重機械工業 (株) 技術本部技術研究所
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小島 英嗣
住友重機械工業 (株) メカトロニクス事業部
著作論文
- パラレルリンク方式を用いた加工作業用ハンド機構
- パラレルリンク式微動ステージの6自由度位置決め制御
- パラレルリンク式微動ステージの非干渉化設計
- サーフェイスモータを用いた超精密駆動機構に関する研究
- サーフェイスモータを用いた六自由度精密XYステージの開発
- FPDプロセス用超大型・超精密位置決めステージの研究開発