原 一敬 | 住友重機械工業

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概要

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関連著者

• 冨田 良幸

  住友重機械工業株式会社

• 原 一敬

  住友重機械工業

• 原 一敬

  住友重機械

• 冨田 良幸

  住友重機械

• 岩瀬 昭雄

  住友重機械

• 磯部 章

  住友重機械工業(株)

• 磯部 章

  住友重機械ファインテック(株)

• 塚原 真一郎

  住友重機械工業

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所(ssi)

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所

• 永田 浩

  住友重機械工業(株)

• 永田 浩

  住友重機械工業

• 金子 誠

  住友重機械

• 堀内 雅彦

  住友重機械工業(株)

• 金井 彰

  足利工業大学

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  足利工大

• 森 英彦

  住友重機械

• 宮下 政和

  ナノテク研究所

• 宮下 政和

  Nano・tec研究所

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著作論文

• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
• ナノメータ位置決めシステムの開発(第1報) : シミュレーションによる基礎的検討
• Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
• TMDを用いた真空用リニアモータステージの開発

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