磯部 章 | 住友重機械ファインテック(株)

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概要

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関連著者

• 磯部 章

  住友重機械工業(株)

• 磯部 章

  住友重機械ファインテック(株)

• 冨田 良幸

  住友重機械工業株式会社

• 岩瀬 昭雄

  住友重機械

• 原 一敬

  住友重機械工業

• 原 一敬

  住友重機械

• 冨田 良幸

  住友重機械

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所(ssi)

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所

• 永田 浩

  住友重機械工業(株)

• 永田 浩

  住友重機械工業

• 塚原 真一郎

  住友重機械工業

• 阿部 耕三

  新日本製鐵(株)

• 狛 豊

  (株)ディスコ

• 金井 彰

  足利工業大学

• 宮下 政和

  Nano・tec研究所

• 堀金 進

  住友重機械工業(株)

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著作論文

• 超精密研削用三角柱型五面体構造の提案ならびに装置開発
• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
• Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
• 大口径ベアウエーハの平坦化技術(半導体デバイスの平坦化技術)
• 最近の立軸平面重研削技術(最近の高能率研削・重研削技術)

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