權 賢圭 | 東北大学大学院

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概要

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関連著者

• 權 賢圭

  東北大学大学院

• 清野 慧

  東北大学大学院工学研究科

• 高 偉

  東北大学工学研究科

• 野村 進直

  東北大学大学院

• 高 偉

  東北大学

• 野村 進直

  東北大学大学院:(現)富士通(株)

• 厨川 常元

  東北大学工学部機械電子工学科精密加工学講座

• 清野 慧

  東北大学工学部

• 岡 徹

  東北大学大学院:(現)三菱電機(株)

• 劉 慶綱

  東北大学大学院

• 清野 彗

  東北大学工学研究科

• 劉 慶綱

  東北大学大学院:(現)計量研究所

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著作論文

• SPMの高精度化手法の提案とその液中作動型AFMへの適用
• SPMの高精度化手法の提案とその液中作動型AFMへの適用
• AFMによるインプロセス計測とナノ加工
• インプロセス形状測定機能を有するマイクロ加工プローブの設計

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