光検出システムを用いた三次元変位測定法 : 基礎実験とその評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-10-01
著者
-
高増 潔
東京大学大学院工学系研究科
-
平木 雅彦
高エネルギー加速器研究機構
-
高増 潔
東大工
-
臼杵 深
静岡大学若手グローバル研究リーダー育成拠点
-
江並 和宏
高エネルギー加速器研究機構
-
臼杵 深
東大工
-
江並 和宏
東大工
-
平木 雅彦
高エネ研
関連論文
- 製品の幾何特性仕様(GPS)の国際標準化の動向 (特集 国際標準化)
- 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第2報) : 定在波照明シフト実験による解像原理の実験的検証
- 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第1報) : 解像特性の理論的検討
- 座標測定機のアーティファクト校正(第3報) : 校正後の測定の不確かさの推定
- 座標測定機のアーティファクト校正(第2報) : 冗長座標測定機の自己校正
- パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発 : 第1報 設計パラメータの決定と試作機の製作
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正 : 複数のリンクセットを用いた校正
- パラレルメカニズムのアーティファクト校正(第1報) : 緩い束縛条件を用いた運動学パラメータの校正
- 座標測定機のアーティファクト校正(第1報) : 運動学パラメータの校正
- パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発(第2報) : 校正方法
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正:(第3報)校正用非対称リンクセット
- パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正 : 設置パラメータの同定
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の研究(第10報)設置パラメータの導入
- 製品の幾何特性仕様(GPS)の国際標準化の動向(国際標準化)
- 波長走査干渉計における信号処理
- 波長走査干渉計における波長掃引の校正
- 三次元測定機の幾何誤差推定とその不確かさ
- 形体計測における不確かさの見積り(第3報) : 区分多項式による直線形体の形状偏差モデル
- 形体計測における不確かさの見積り(第2報) : 円形体の計測における形状偏差の寄与
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第4報):幾何偏差の空間的拘束の検討
- 座標比較によるCMM校正システムの開発(第2報) : 校正の信頼性の統計的な評価
- 座標比較によるCMM校正システムの開発(第1報) : 試作システムの構成とその基本的な評価
- 形体計測における不確かさの見積り(第1報) : 校正作業で生じる系統誤差の寄与
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第3報) : 長さ測定の不確かさによる座標測定の不確かさの統計的な推定
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第2報) : アーティファクトによる校正におけるパラメトリックエラー推定値の信頼性
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第1報)-1次元変位測定によるパラメトリックエラー推定値の信頼性-
- S1303-1-3 変調照明シフトによる微細加工構造の超解像光学式計測法に関する研究(加工計測・評価システム(1))
- 定在エバネセント波照明による超解像イメージング
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
- リングビームを用いた三次元変位測定法(第2報) : リングイメージの楕円近似による非線形性の改善
- リングビームを用いた三次元変位測定法(第1報) : 理論解析と基礎実験
- 光検出システムを用いた三次元変位測定法 : 基礎実験とその評価
- nano-Probeシステムの開発(第10報) : nano-CMMに搭載しての測定実験
- nano-Probeシステムの開発(第9報):光学系の解析
- カラーパターン投影を用いた三次元形状測定
- 多価パターン投影による3次元形状測定(第9報)-投影パターンの検討-
- 多値パターン投影による三次元形状測定(第8報)-微小測定物への対応(2)-
- 多値パターン投影による3次元形状測定(第7報) -微小測定物への対応-
- Windkessel modelを用いた姿勢の違いに起因する循環器動態変化の評価
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究--低熱膨張ブロックゲージを用いた温度補正の評価
- 幾何形状測定の信頼性向上に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究--温度測定誤差を考慮した温度補正
- 計測技術高度化に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報)直角誤差補正
- 計測技術高度化に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報) : 直角誤差補正
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第1報) : 温度ドリフトの評価および補正
- 現場環境における三次元測定機の高精度化に関する研究(第1報)温度ドリフトの評価および補正
- 現場環境における三次元測定機の高精度化に関する研究
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- マイクロ・メゾ・ナノスケールの三次元形状計測 (特集 三次元計測における光学と機械の融合)
- 光計測を工場で使うために
- はじめての精密工学 精密測定における最小二乗法の使い方
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究 (第3報) : —低熱膨張ブロックゲージを用いた温度補正の評価—
- 知的ナノ計測専門委員会活動報告(5.3 専門委員会・分科会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- euspenの活動状況(5.4 国際会議,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- ナノ計測(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
- 事業部会の活動状況(5.1 部会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- 製品の幾何特性仕様(GPS)の考え方
- メカノオプトプローブによるナノ形状測定
- ナノスケールものづくりのための知的計測技術
- W21(2) GPS規格(製品の幾何特性仕様)における国際標準化(W21 次代の国際標準化,ワークショップ,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 知的計測技術によるメソスケール形状測定(メソスケール三次元形状測定技術)
- フェムト光周波数コムによるタンデム干渉計 (第26回センシングフォーラム資料--センシング技術の新たな展開と融合) -- (パターン計測)
- 一次元グレーティングの持ち回り比較測定・光回析法,測長SEM及び測長AFMを用いて
- 3次元測定機の不確かさ推定に関する研究(第1報) : 多関節型3次元測定機の機構パラメータの算出と不確かさ推定
- 3次元測定機の不確かさ推定に関する研究(第4報) : 多関節型三次元測定機用アーティファクトの検討
- 3次元測定機の不確かさ推定に関する研究(第3報) : 多関節型3次元測定機の不確かさ推定
- 形体測定における不確かさ評価(第4法) : 平面形体の測定
- 3次元測定機の不確かさ推定に関する研究(第2報):多関節型3次元測定機の幾何誤差パラメータの算出と不確かさ推定
- 形体測定における不確かさ評価(第3報):円形体の測定
- ナノスケールの知的計測の確立を目指して(知的ナノ計測研究分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- 空間周波数領域2点法に関する研究(第1報) : 2組の2点法を組合わせる場合の系統誤差の補正
- 平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報) : 反射ミラーの形状計測
- リアルタイム呼吸性洞性不整脈抽出法を用いた作業負荷の制御
- 嚥下の心拍変動に与える影響の呼吸位相領域における解析
- 呼吸情報に着目した高精度な呼吸性洞性不整脈の抽出法
- 呼吸情報に着目した呼吸性洞性不整脈の抽出精度の向上
- 複雑な心拍変動の生理学的モデル
- 形体計測における不確かさ評価(第2報) : 形状偏差の影響
- 3次元測定機の不確かさ推定に関する研究 : パラレル型,多関節型CMMの幾何学的誤差の算出
- 体動の影響下におけるリアルタイム副交感神経活動推定法の開発とインタラクティブCGの生成
- エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報) : 定在エバネッセント光を利用した微細周期構造創製
- 光触媒ナノ粒子を用いたマイクロ三次元金属構造の創製
- ナノ・マイクロファブリケーションにおける機能表面の先端光計測技術 (特集1 ナノテクノロジー)
- 314 マルチボールカンチレバーのナノ計測特性(OS-10 加工計測・評価)
- エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第1報) : 造形基本特性の理論的・実験的検討
- エバネッセント光を利用した微細加工と高分解能計測 (特集:ナノ材料にみる近接場光学の新展開)
- 2621 レジスト表面に対するAFM先端スタイラス形状の影響(S72 加工計測・評価システム)
- 吸気型ボールプローブの開発(第6報) -測定力の評価-
- 吸気型ボールプローブの開発(第5報) -プロトタイプの評価-
- 吸気型ボールプローブの開発(第4報)-理論式の検討-
- nano-CMMの開発(第6報)-熱変形が測定精度に与える影響-
- 三次元測定機による測定値のデータ処理(第6報) -形状偏差の統計的表現-
- nano-Probeシステムの開発(第1報) -nano-Probeの構成-