2621 レジスト表面に対するAFM先端スタイラス形状の影響(S72 加工計測・評価システム)
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概要
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AFM is used to measure the surface of the material with high accuracy. Here we want to use AFM to measure the surface profile of resist. If the measurement object is softer than the stylus, AFM may deform it in measurement. In order to measure the surface profile of resist with high accuracy, it's necessary to investigate the solid-state profiles of resist and influence of the AFM tip on the resist surface. So, in this research, we simulate the relationship between the shape, size and load of the indenter and the deformation with FEM (Finite Element Method), and discuss the influence from the force-displacement curve.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
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