nano-CMMの開発(第6報)-熱変形が測定精度に与える影響-
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
古谷 涼秋
東京電機大学工学部
-
高増 潔
東京大学大学院工学系研究科
-
平木 雅彦
高エネルギー加速器研究機構
-
平木 雅彦
東京大学
-
大園 成夫
東京大学
-
古谷 涼秋
東京電機大学
-
徳田 正章
東京大学工学部
-
徳田 正章
三菱重工業株式会社
-
高増 潔
東京大学
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