S132032 マイクロ流体チップ金型の微細溝加工の研究 : 加工条件と微細溝形状精度([S13203]先端加工技術(3))
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概要
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The micro-channel chip (micro total analysis system) attracts attention in the medical field. Generally, the photo lithography technology used in a semiconductor manufacture process is used as the manufacture method of a micro-channel chip die. However, there are many manufacturing processes like fabrication of a mask, the photo-resist application to a substrate, expensive facility of a clean room etc. So, this study examined how to form a fine groove by cutting with a micro endmill. This report examined experimentally the processing conditions which should be developed. As a result, relation between cutting conditions and form accurac of fine groove, were clarified.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-11
著者
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