通商産業省工業技術院 計量研究所力学部 機械計測研究室
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-03-01
著者
関連論文
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第1報)
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第1報) : 原理と動特性
- 2自由度静電駆動型ねじり振動子(第2報) -動作モデルと最適化-
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
- 振動加速度ピックアップ校正用レーザ干渉計の開発
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第4報 : 固有振動数可変化の試み)
- 計数法による振動ピックアップ校正における計数誤差の除去
- 正弦波近似法による加速度ピックアップの校正と不確かさに関する考察
- マイクロマシンにおける計測の信頼性
- 精密位置決めにおけるマイクロマシン技術
- マイクロ振動の測定・評価(マイクロ機構の測定・評価技術)
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第3報)
- 通商産業省工業技術院 計量研究所力学部 機械計測研究室