2自由度静電駆動型ねじり振動子(第2報) -動作モデルと最適化-
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1995-09-01
著者
関連論文
- リファレンス加速度センサに関する一考察
- 弾性波パルスの反射による微小構造体の運動発生
- 機械力学・計測制御
- 設計工学・システム
- 機械工学年鑑(1995年)機械力学・計測制御
- 455 高精度三次元振動台による機械量センサ動特性評価に関する研究 : 第二報 : パルスモードでの運転
- 454 高精度三次元振動台による機械量センサの動特性評価に関する研究 : 第 1 報 : 三次元振動台のモデリングと制御系の構築
- 設計工学 ・ システム
- 設計工学・システム
- 体験談 : 海外から電子メールを使う
- 速さをはかる(創立100周年記念 はやさと技術)
- 加速度センサ用正弦波近似法校正装置の実現
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第1報)
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第1報) : 原理と動特性
- 2自由度静電駆動型ねじり振動子(第2報) -動作モデルと最適化-
- マイクロ構造の評価技術
- E-9 超音波顕微鏡における内部観察用音響レンズに関する研究(超音波顕微鏡)
- 超音波顕微鏡における音響インピ-ダンス整合に関する研究 (超音波イメ-ジングシンポジウム特集)
- 5・4 検査・診断 : 5.計測・自動制御
- 5・4 検査・診断 : 5. 計測・自動制御
- マイクロマシンにおける計測・評価--弾性波応用計測とマイクロマシン (マイクロマシン)
- 動的力計測の現状と問題点
- マイクロマシン--計測技術--マイクロマシンと計測 (マイクロマシンとマイクロトライボロジ-)
- 設計工学・システム
- 機械力学・計測制御
- 15・4・4マイクロマシン技術(15.設計工学・システム)(15.4設計工学・システムのトピックス)
- 15・4・4 マイクロマシン技術(15.設計工学・システム)(15.4 設計工学・システム分野のトピックス)
- 14. 計測 (機械工学年鑑(1995年)機械力学・計測制御)
- 15. 設計工学・システム : 15・4 設計工学・システム分野のトピックス : 15・4・4 マイクロマシン技術 (機械工学年鑑)
- マイクロマシンとLIGA
- 5. 計測(機械工学年鑑(1994年)機会力学・計測制御)
- 15.設計工学・システム : 15・4 設計工学・システム分野のトピックス : 15・4・4 マイクロマシン技術 (
- 13.機械力学・計測制御 : 13・6 計測 (
- 衝撃加速度の標準と衝撃による加速度センサの特性評価法
- マイクロマシンからナノマシンへ研究調査分科会成果報告
- 12. 計測(機械工学年鑑(1993年)機械力学・計測制御)
- 15.設計工学・システム : 15・6 マイクロマシン技術 (機械工学年鑑)
- マイクロマシン要素技術の動向 : 加工・組立,センサ・計測,アクチュエータ (マイクロマシン)
- 15.設計工学・システム : 15・6 マイクロマシン技術 (機械工学年鑑)
- 15. 設計工学・システム 15・4 マイクロマシン技術 (機械工学年鑑)
- 3706 微小形状記憶合金試料の相変態温度の検出限界
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
- 振動加速度ピックアップ校正用レーザ干渉計の開発
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第4報 : 固有振動数可変化の試み)
- 計数法による振動ピックアップ校正における計数誤差の除去
- 正弦波近似法による加速度ピックアップの校正と不確かさに関する考察
- デービス棒による加速度計の特性評価方法に関する研究 : 第2報,動的変位測定用レーザ干渉計の開発
- デービス棒とレーザ干渉計によるひずみゲージの動特性に関する研究 : 第1報,原理の確認
- デービス棒による加速度計の特性評価方法に関する研究 : 第1報, ひずみゲージによる加速度計の周波数特性評価法
- 加速度の標準 (産業界における計測標準の新しい動向)
- B-6 ピッチ・キャッチ法による円柱状欠陥の測定(基礎・計測II)
- マイクロマシンにおける計測の信頼性
- 精密位置決めにおけるマイクロマシン技術
- マイクロ振動の測定・評価(マイクロ機構の測定・評価技術)
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第3報)
- 「新原理アクチュエータ」発刊に際して
- 通商産業省工業技術院 計量研究所力学部 機械計測研究室
- 15. 設計工学・システム 15・2 CAEの動向 (機械工学年鑑)
- 現場に役立つ産業計測シリ-ズ-13-動的力計測の現状