植木 伸明 | 富士写真光機(株)光学機器部

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概要

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関連著者

• 植木 伸明

  富士写真光機(株)光学機器部

• 植木 伸明

  富士写真光機

• 黒澤 富蔵

  産業技術総合研究所

• 高辻 利之

  産総研

• 高辻 利之

  産業技術総合研

• 大澤 尊光

  産業技術総合研究所

• 日比野 謙一

  産業技術総合研究所

• 山口 一郎

  理研・光工学

• 山口 一郎

  理化学研究所

• 豊岡 了

  埼玉大学大学院理工学研究科環境制御システムコース

• 黒澤 富蔵

  計量研究所

• 豊岡 了

  埼玉大院理工

• 山口 一郎

  理研

• 山口 一郎

  理化学研究所3dfd開発チーム

• 豊岡 了

  埼玉大学大学院理工学研究科

• 高辻 利之

  計量研究所

• 植木 伸明

  富士写真光機株式会社

• 後藤 信介

  (株)ONC

• 日比野 謙一

  機械技術研究所

• 大澤 尊光

  計量研究所

• 王 文ジュン

  埼玉大学大学院 理工学研究科

• 王 文ジュン

  埼玉大学大学院理工学研究科

• 大澤 尊光

  ドイツ国立物理工学研

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著作論文

• 波長可変レーザーを用いた干渉計における段差測定の高感度化
• 白色干渉計による平面段差の高精度測定
• 大口径平面度干渉計によるウェファー用チャックの平面度測定
• 大口径平面度干渉計の2国間比較
• 大口径平面度干渉計の製作

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