21305 擬似平面を用いたモンテカルロ法による平面度の不確かさ評価法(OS13 計測・試験における不確かさ評価と応用(1),オーガナイズドセッション)
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概要
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This paper describes an evaluation method of the measurement uncertainty of the reference flat as component part in the fizeau-type flatness measurement machine. In order to evaluate of uncertainty of the reference flat, the Monte Carlo simulation was applied to estimate the distribution of the peak-to-valley (PV) value +with pseudo flats as the test flat and the measurement result. As the result of evaluation by simulation, it has been clarified that the uncertainty of the reference flat is affected by the uncertainty of the test flat and the interferometer of the flatness measurement machine.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-03-09
著者
-
榎原 研正
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
尾藤 洋一
産総研
-
宮城 善一
明治大学理工学部
-
榎原 研正
産総研
-
榎原 研正
産業技術総合研 計測標準研究部門
-
宮城 善一
明治大
-
榎原 研正
独立行政法人産業技術総合研究所 計測標準研究部門 物性統計科 応用統計研究室
-
内藤 伸一
明治大
-
宮城 善一
明治大 理工
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