渡部 司 | (独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
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概要
関連著者
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渡部 司
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
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東 康史
産業技術総合研究所
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藤本 俊幸
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
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産総研 計測標準部門
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(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
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(独)産業技術総合研究所
著作論文
- 産総研コーナー 自己校正機能で角度誤差を出力する次世代ロータリエンコーダ
- X線反射率法を用いたSIトレーサブルな膜厚評価 : 試料表面形状評価による不確かさ低減効果
- 円形形体の高精度形状評価法に関する研究(第1報) : 真円度のプロファイル解析の高度化
- 角度誤差を検出できる自己校正機能付ロータリエンコーダ(SelfA) (特集 計測標準フォーラム講演会(2))