藤本 俊幸 | 産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
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概要
関連著者
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藤本 俊幸
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
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著作論文
- 金属クラスター錯体イオンビームの発生とその応用
- 金属クラスター錯体を用いたクラスターイオン銃の開発
- シリコン酸化膜の構造遷移層の密度分布解析
- ナノテクノロジー計量計測における国際標準化
- 金属クラスター錯体イオンビームの特性と二次イオン質量分析(SIMS)への応用