高野 順 | 東北大学工学部電子工学科
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概要
関連著者
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大見 忠弘
東北大学工学部
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高野 順
東北大学工学部電子工学科
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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斉藤 祐司
東北大学大学院工学研究科
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中村 亘
富士通株式会社
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櫻井 稔久
東北大
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櫻井 稔久
東北大学未来科学技術研究センター
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中村 亘
東北大学工学部電子工学科
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牧原 康二
東北大学工学部電子工学科
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藪根 辰弘
東北大学大学院工学研究科
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斉藤 祐司
東北大学工学部電子工学科
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櫻井 稔久
東北大学工学部電子工学科
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藪根 辰弘
ステラケミファ株式会社研究部
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斉藤 祐司
東北大学大学院工学研究科:(現)セイコーエプソン(株)生産技術開発本部
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山本 和馬
東北大学電気通信研究所超微細電子回路実験施設
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松本 光市
ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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松本 光市
東北大学工学部電子工学科
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山本 和馬
東北大学工学部電子工学科
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中村 亘
富士通
著作論文
- 高密度Kr/O_2プラズマで低温成膜したシリコン酸化膜、高密度Kr/O_2プラズマ低温照射CVDシリコン酸化膜の膜質に関する研究
- 薄い酸化膜質のSiウェハ面方位依存性 : 酸化膜の電気的信頼性及び酸化膜構造に与えるウェハ面方位の依存性