牧原 康二 | 東北大学工学部電子工学科
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概要
関連著者
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大見 忠弘
東北大学工学部
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牧原 康二
東北大学工学部電子工学科
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中村 亘
富士通株式会社
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中村 亘
東北大学工学部電子工学科
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山本 和馬
東北大学電気通信研究所超微細電子回路実験施設
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中村 亘
富士通
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二ツ木 高志
オルガノ株式会社
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森田 瑞穂
大阪大学大学院工学研究科
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森田 瑞穂
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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森田 瑞穂
東北大学電気通信研究所
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二ツ木 高志
東北大学電気通信研究所
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高野 順
東北大学工学部電子工学科
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松本 光市
ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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松本 光市
東北大学工学部電子工学科
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山本 和馬
東北大学工学部電子工学科
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大見 和幸
東北大学工学部電子工学科
著作論文
- ウルトラクリーン酸化で形成した極薄ゲート酸化膜のホットキャリア耐性
- 薄い酸化膜質のSiウェハ面方位依存性 : 酸化膜の電気的信頼性及び酸化膜構造に与えるウェハ面方位の依存性
- MOSチャネル移動度のSi/SiO_2界面マイクロラフネス依存性