松本 光市 | ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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概要
関連著者
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松本 光市
ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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野口 隆
琉球大学工学部
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小松 裕司
ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー Lsiテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室
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窪田 通孝
ソニー(株)
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野口 隆
ソニー(株)フロンティアサイエンス研究所
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山岸 万千雄
ソニー(株)厚木テクノロジーセンターセミコンダクターカンパニー超LSI研究所先端素子研究部
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山本 博士
ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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中山 創
ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー LSIテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室
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竹下 光明
ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー LSIテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室
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山本 博士
ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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窪田 通孝
ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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山岸 万千雄
ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー
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松本 光市
ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー Lsiテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室
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大見 忠弘
東北大学工学部
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中村 亘
富士通株式会社
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中村 亘
東北大学工学部電子工学科
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牧原 康二
東北大学工学部電子工学科
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高野 順
東北大学工学部電子工学科
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山本 和馬
東北大学電気通信研究所超微細電子回路実験施設
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松本 光市
東北大学工学部電子工学科
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山本 和馬
東北大学工学部電子工学科
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小山 一英
ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー LSIテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室
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大野 晃計
ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー LSIテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室
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高橋 剛
ソニー(株)
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中村 亘
富士通
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小山 一英
ソニー(株)、sc・超lsi研究所
著作論文
- 0.1μmMOSトランジスタに対するエキシマレーザーアニール
- ED2000-45 / SDM2000-45 0.1μmMOSトランジスタに対するエキシマレーザーアニール
- 薄い酸化膜質のSiウェハ面方位依存性 : 酸化膜の電気的信頼性及び酸化膜構造に与えるウェハ面方位の依存性
- Bulk CMOSと互換性のあるプロセスにて作製した26nm Si層の0.11μm完全空乏型SOI CMOSデバイス
- 0.13μm SOIのデバイス構造と性能予測