0.13μm SOIのデバイス構造と性能予測

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概要

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• 1999-12-09

著者

• 小松 裕司

  ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー Lsiテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室

• 松本 光市

  ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー

• 中山 創

  ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー LSIテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室

• 竹下 光明

  ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー LSIテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室

• 高橋 剛

  ソニー(株)

• 松本 光市

  ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニー Lsiテクメロジー開発部門 先端デバイス研究室

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