SiC基板上高品質ゲート絶縁膜の低温形成
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概要
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- 2006-12-07
著者
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
-
大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
寺本 章伸
東北大学 未来科学技術研究館
-
田中 康太郎
東北大学 工学研究科
-
Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
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