寺本 章伸 | 東北大学 未来科学技術研究館

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概要

• 同名の論文著者
• 東北大学 未来科学技術研究館の論文著者

関連著者

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

• 寺本 章伸

  東北大学 未来科学技術研究館

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 須川 成利

  東北大学 大学院 工学研究科

• 平山 昌樹

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 平山 昌樹

  東北大学 未来科学技術研究館

• 田中 康太郎

  東北大学 工学研究科

• 二井 啓一

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 赤堀 浩史

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第三部

• 後藤 哲也

  東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門

• 野沢 俊久

  東京エレクトロン技術研究所(株)

• 池永 和幸

  東北大学 未来科学技術研究館

• 後藤 哲也

  東北大学 未来科学技術研究館

• Ohmi T

  Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn

• 赤堀 浩史

  東北大学 大学院工学研究科電子工学専攻

• 二井 啓一

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

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著作論文

• 2段シャワープレート型マイクロ波プラズマエッチャーを用いた多層膜の連続エッチング
• SiC基板上高品質ゲート絶縁膜の低温形成(シリコン関連材料の作製と評価)
• SiC基板上高品質ゲート絶縁膜の低温形成
• シリコン(110)面の平坦化

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