後藤 哲也 | 東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門
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概要
関連著者
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寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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後藤 哲也
東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門
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寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
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大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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大見 忠弘
東北大学
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廣江 昭彦
東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター:東北大学wpiリサーチセンター
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Teramoto A
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
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Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
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Ohmi Tadahiro
The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
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Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
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広江 昭彦
東工大理
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Teramoto Akinobu
Tohoku Univ. Sendai Jpn
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廣江 昭彦
東北大未来科学技術共同研究センター
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平山 昌樹
東北大学未来科学技術共同研究センター
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須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
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大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
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須川 成利
東北大学大学院工学研究科
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野沢 俊久
東京エレクトロン技術研究所(株)
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池永 和幸
東北大学 未来科学技術研究館
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後藤 哲也
東北大学 未来科学技術研究館
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寺本 章伸
東北大学 未来科学技術研究館
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平山 昌樹
東北大学 未来科学技術研究館
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高橋 一郎
東北大学未来科学技術共同研究センター
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磯貝 達典
東北大学大学院工学研究科技術社会システム専攻
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桜井 弘之
宇部興産株式会社
著作論文
- マグネトロンスパッタによるSiO_2基板上への微結晶SiGeの堆積(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 2段シャワープレート型マイクロ波プラズマエッチャーを用いた多層膜の連続エッチング
- マグネトロンスパッタによるSiO_2基板上への微結晶SiGeの堆積(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- マグネトロンスパッタによるSiO_2基板上への微結晶SiGeの堆積(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 原子状酸素を用いた酸化処理による強誘電体STN薄膜の特性改善(プロセスクリーン化と新プロセス技術)